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半导体检查显微镜
4寸工作平台半导体检查显微镜
4寸工作平台半导体检查显微镜

产品型号:MX系列
发布时间:2018-6-8 16:02:42
访问次数:39 次

半导体检查显微镜-4寸工作平台半导体检查显微镜介绍

半导体检查显微镜MX4R采用大行程移动工作平台,长工作距半复消色差物镜,图像锐利清晰,广泛应用于晶圆、FPD等各项工业检测。

稳重的机架结构设计

工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。

其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。

反射照明器

单颗大功率5W白色LED照明,带斜照明机构。切换至斜照明时,可以使物体表面不同材质部分呈现立体图案,增加观察的对比度与视觉效果。

高性能物镜转换器

MX4R转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制,根据需求可配置不同孔位的转换器。

半导体检查显微镜MX4R标准配置参数

型号

MX4R

MX4RT

可选择的观察方法

明场/斜照明/偏振光/DIC

明场/斜照明/偏振光/DIC/透射光

光学系统

无限远色差校正光学系统


目镜

PL10X/22平场高眼点目镜


观察筒

30°铰链式三目,分光比,双目:三目=100:0或50:50

物镜

LMPL无限远长工作距金相物镜5X、10X、20X、50X、100X

转换器

5孔内倾式转换器,带DIC插槽

载物台

4”双层机械移动平台,行程105x 105mm,带金属平板平台,右手位X、Y移动手轮,配平台接口

4”双层机械移动平台,行程105x 105mm,带玻璃平台,右手位X、Y移动手轮,配平台接口

显微镜镜体

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,双路电源输出

反射照明器系统

带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆。12V100W卤素灯,光强连续可调(选择此组照明器时,应使用MX-6R型显微镜镜体)

透射照明系统

/

单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调。N..A.0.5聚光镜,带可变孔径光阑

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